北方华创申请晶圆调度方法及半导体工艺设备专利，实现了Q-time的严格管控
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2026-01-12 10:12:21
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国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“晶圆的调度方法及半导体工艺设备”的专利，公开号CN121310899A，申请日期为2025年9月。
专利摘要显示，本申请公开了一种晶圆的调度方法及半导体工艺设备。其中，该方法包括：根据当前晶圆的分布状态获取当前所有可移动的变迁；确定对应的出片间隔；对是否会发生因Q-time管控腔室清洁导致的工艺中断进行预测；根据出片间隔和中断预测结果计算该可移动的变迁的分数；根据分数在所有可移动的变迁中确定第一预设数量的目标可移动的变迁，并生成候选变迁序列；当满足以下任一条件时：候选变迁序列中的目标可移动的变迁的数量达到第二预设数量或者所有晶圆到达目的地，基于分数最高的候选变迁序列中最靠前的第三预设数量的变迁生成目标变迁序列；基于目标变迁序列进行晶圆调度。本申请在保证WPH最大化的前提下，实现了Q-time的严格管控。
天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1347次，财产线索方面有商标信息68条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。
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来源：市场资讯
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