康佳光电取得半导体基板烤盘装置专利，提高良率
创始人
2026-01-09 19:36:56
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国家知识产权局信息显示，重庆康佳光电科技有限公司取得一项名为“一种半导体基板的烤盘装置”的专利，授权公告号CN223775626U，申请日期为2024年12月。
专利摘要显示，本实用新型公开了一种半导体基板的烤盘装置，包括盘体、盖板、清洁刷和控制机构，所述盖板与所述盘体相对设置，所述清洁刷安装到所述盖板上，所述清洁刷的刷头位于所述盖板和所述盘体之间，所述清洁刷和所述盖板分别与所述控制机构连接，以控制所述盖板靠近所述盘体且控制所述清洁刷转动清洁所述盘体，或控制所述盖板远离所述盘体。通过本实用新型的半导体基板的烤盘装置，提高了良率及减少了机台报警提升稼动率。
天眼查资料显示，重庆康佳光电科技有限公司，成立于2019年，位于重庆市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本200000万人民币。通过天眼查大数据分析，重庆康佳光电科技有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目38次，财产线索方面有商标信息1条，专利信息1572条，此外企业还拥有行政许可15个。
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来源：市场资讯
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