芯恩集成取得半导体设备排风装置专利，减少或者避免了半导体设备停机时间
创始人
2026-01-09 15:08:51
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国家知识产权局信息显示，芯恩（青岛）集成电路有限公司取得一项名为“半导体设备排风装置及半导体处理设备”的专利，授权公告号CN223782395U，申请日期为2025年4月。
专利摘要显示，本实用新型提供了一种半导体设备排风装置及半导体处理设备，半导体设备排风装置用于对晶圆烘焙的热板进行排风，排风装置包括排风管、处理单元以及控制器，排风管与热板的排风口连接，排风管内设置有检测结构和清理结构，检测结构用于检测排风管内的排风压力，处理单元用于获取排风压力与预设压力的差值，控制器用于在差值大于预设值时控制清理结构对排风管进行清理，该排风装置内的检测结构可以检测排风管内的排风压力，处理单元获取排风压力与预设压力的差值，在差值大于预设值时控制器控制清理结构对排风管进行清理，该半导体设备排风装置能够实现自动清洁排风管，减少或者避免了半导体设备停机时间、提高了生产效率。
天眼查资料显示，芯恩（青岛）集成电路有限公司，成立于2018年，位于青岛市，是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本1006720.789212万人民币。通过天眼查大数据分析，芯恩（青岛）集成电路有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目190次，财产线索方面有商标信息15条，专利信息928条，此外企业还拥有行政许可56个。
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来源：市场资讯
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