ASML取得在带电粒子系统中使用电压对比进行缺陷检查专利
创始人
2026-05-28 18:08:53
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国家知识产权局信息显示,ASML荷兰有限公司取得一项名为“在带电粒子系统中使用电压对比进行缺陷检查的系统和方法”的专利,授权公告号CN115023786B,申请日期为2020年12月。

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来源:市场资讯

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