维普半导体新一代STORM 5000掩模缺陷检测设备通过头部客户商用验收
据维普半导体微信公众号12月17日消息，公司新一代STORM 5000掩模缺陷检测设备近日顺利通过国内某头部客户商用验收。下一台STORM 5000设备目前已完成出厂前测试，将于12月底前交付国内另一关键客户。
上证报中国证券网讯（钱佳滢 记者 仲茜）据维普半导体微信公众号12月17日消息，公司新一代STORM 5000掩模缺陷检测设备近日顺利通过国内某头部客户商用验收。下一台STORM 5000设备目前已完成出厂前测试，将于12月底前交付国内另一关键客户。
STORM 5000是维普半导体推出的第四代掩模图形缺陷检测设备，基于STORM 3000的技术积累历经近三年迭代研发，在光学成像、算法、算力等方面实现提升，可满足更高制程的掩模（Mask）制造，支持相移掩模版（PSM）、二元掩模版（Binary）掩模检测，适配ArF与KrF对应的技术节点。公开信息显示，ArF的光刻光源波长为193nm，可支持130nm到14nm甚至更小线宽的IC制程技术节点。
维普半导体上一代光掩模缺陷检测成熟机型STORM 3000自2022年推出以来，持续获得国内外主流厂商的重复订单。自2025年第四季度开始，公司面向头部客户的海外站点开始批量化交付STORM 3000，已成为检测设备供应商中的重要合作伙伴。
截至目前，公司STORM系列已实现销售订单近70套，主要客户包括上海中芯国际、迪思微、中微掩模、路维光电等国内客户，以及Photronics、Tekscend Photomask等国际头部客户。
据了解，维普半导体专注半导体缺陷检测领域，致力于填补国内半导体高端检测设备空白。2025年11月，微纳光学龙头企业苏大维格以自有或自筹资金5.1亿元收购维普半导体51%股权，交易完成后，维普半导体将成为苏大维格控股子公司。