京仪自动化装备取得一种半导体废气处理设备的水系统专利，保证检测准确性
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2025-12-08 13:36:13
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国家知识产权局信息显示，北京京仪自动化装备技术股份有限公司取得一项名为“一种半导体废气处理设备的水系统”的专利，授权公告号CN223628350U，申请日期为2024年12月。专利摘要显示，本实用新型涉及半导体废气处理技术领域，特别涉及一种半导体废气处理设备的水系统。该系统包括水箱；水箱的底部或侧壁底端设置水箱检测口，水箱检测口通过管路与气管三通的第一个接口连通；氮气容器通过管路，并经过第一阀门、调压阀和第一限流孔与气管三通的第二个接口连通；压力传感器通过管路，并经过第二限流孔与气管三通的第三个接口连通；水箱的出水口通过管路，并经过水泵与用水设备连通。本申请采用了非接触检测的方式，避免了传感器的耐腐蚀性要求；同时，检测管内使用氮气进行吹扫，避免了固态粘稠物的干扰，保证了检测的准确性。
天眼查资料显示，北京京仪自动化装备技术股份有限公司，成立于2016年，位于北京市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本16800万人民币。通过天眼查大数据分析，北京京仪自动化装备技术股份有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目99次，财产线索方面有商标信息23条，专利信息501条，此外企业还拥有行政许可12个。
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来源：市场资讯
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