飞纳仪器申请CMOS芯片成像缺陷到缺陷源自动分析系统及方法专利，提高了缺陷源定位的精度_半导体

飞纳仪器申请CMOS芯片成像缺陷到缺陷源自动分析系统及方法专利，提高了缺陷源定位的精度

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2025-12-08 10:10:01

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国家知识产权局信息显示，飞纳台式科学仪器（上海）有限公司申请一项名为“CMOS芯片成像缺陷到缺陷源自动分析系统及方法”的专利，公开号CN121068622A，申请日期为2025年7月。

专利摘要显示，本发明提供了一种CMOS芯片成像缺陷到缺陷源自动分析系统及方法，包括芯片容器模块用于容纳不同型号的CMOS芯片；配置文件模块用于存储CMOS芯片的像素间距和芯片容器的原点坐标信息；数据导入模块用于导入CMOS芯片的成像缺陷坐标数据；坐标转换模块用于根据配置文件模块和数据导入模块，将缺陷坐标数据转换为显微分析设备的空间坐标；显微分析设备用于根据显微分析设备的空间坐标对缺陷源进行分析。本发明的坐标转换模块采用像素间距和原点位置等参数进行计算，确保了坐标转换的准确性，提高了缺陷源定位的精度。本发明通过配置文件模块和坐标转换模块，实现了从缺陷坐标读取到显微分析设备坐标转换的自动化，减少了人工干预，提高了分析效率。

天眼查资料显示，飞纳台式科学仪器（上海）有限公司，成立于2016年，位于上海市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本500万人民币。通过天眼查大数据分析，飞纳台式科学仪器（上海）有限公司参与招投标项目2次，专利信息1条，此外企业还拥有行政许可1个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

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