宸微设备科技申请集成式气路系统以及半导体设备专利，有利于实现高度集成化
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2025-12-06 16:37:28
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国家知识产权局信息显示，宸微设备科技（苏州）有限公司申请一项名为“集成式气路系统以及半导体设备”的专利，公开号CN121065675A，申请日期为2025年11月。
专利摘要显示，一种集成式气路系统以及半导体设备，集成式气路系统包括：混气底座，包括相背设置的第一面和第二面、以及连接第一面和第二面的侧壁，混气底座内部具有由第一面至第二面延伸的第一气路、以及由侧壁至混气底座中延伸的多个相互独立的第二气路，第一气路的出气口位于第二面一侧，且用于与反应腔室相连，多个第二气路的进气口间隔排布于侧壁上，且多个第二气路的出气口均与第一气路相连；第一进气管道，设置于混气底座的第一面上，并与第一气路的进气口相连；第二进气管道，设置于混气底座的侧壁上，并与第二气路的进气口相连。本公开有利于实现高度集成化，且提高工艺效率。
天眼查资料显示，宸微设备科技（苏州）有限公司，成立于2022年，位于苏州市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本3157.8947万人民币。通过天眼查大数据分析，宸微设备科技（苏州）有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目2次，财产线索方面有商标信息39条，专利信息70条，此外企业还拥有行政许可4个。
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来源：市场资讯
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