科立迅申请显示驱动半导体芯片刻蚀装置专利,保障晶圆原始品质为后续刻蚀及芯片性能提供基础保障
创始人
2026-04-13 15:32:05
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国家知识产权局信息显示,深圳市科立迅电子有限公司申请一项名为“一种显示驱动半导体芯片的刻蚀装置”的专利,公开号CN121843440A,申请日期为2026年1月。

专利摘要显示,本发明涉及一种显示驱动半导体芯片的刻蚀装置,属于半导体制造技术领域。包括本体,所述本体前端设有吸附组件,所述吸附组件底部设有移动组件,所述吸附组件包括顶盖,所述顶盖顶部转动连接有转动盘,所述转动盘顶部中心位置固定安装有伺服电机一。本发明通过设置滚刷、传动刷和夹持杆,底壳底部通过槽道吸附晶圆时,晶圆顶部仅与柔性刷体接触,避免底壳或夹具直接摩擦造成的表面划伤;同时通过负压吸附与机械夹持的非接触式/柔性接触式固定方式,替代传统人工或刚性抓取,杜绝晶圆表面留下印记或产生损伤,保障晶圆原始品质,为后续刻蚀及芯片性能提供基础保障。

天眼查资料显示,深圳市科立迅电子有限公司,成立于2020年,位于深圳市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本100万人民币。通过天眼查大数据分析,深圳市科立迅电子有限公司参与招投标项目2次,财产线索方面有商标信息62条,专利信息27条,此外企业还拥有行政许可5个。

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来源:市场资讯

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