中建材光电装备取得磁控溅射靶罩专利，提高靶材更换的效率_半导体

中建材光电装备取得磁控溅射靶罩专利，提高靶材更换的效率

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2025-12-02 15:06:49

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国家知识产权局信息显示,中建材光电装备(太仓)有限公司、中建材耀华(内江)节能玻璃有限公司取得一项名为"一种磁控溅射靶罩" 的专利,授权公告号CN223607341U,申请日期为2024年12月。

专利摘要显示,本实用新型公开了一种磁控溅射靶罩,涉及磁控溅射技术领域,包括靶罩主体,所述靶罩主体的下方设置有底座,所述底座的上表面设置靶材,所述靶材的外壁滑动套接有压环,所述压环通过螺栓与底座固定连接,所述靶罩主体套接压环的外壁,所述靶罩主体与压环螺纹连接,所述靶罩主体上设置用于对靶罩主体进行移动限位的限位机构。本实用新型通过限位机构,能够通过对靶罩主体进行快速安装与拆卸,并对靶罩主体的高度进行自动限位,从而可进一步提高对靶材更换的效率,同时通过对靶罩主体的便捷更换,以此对靶罩主体进行高效维护。

天眼查资料显示，中建材光电装备（太仓）有限公司，成立于2009年，位于苏州市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本13000万人民币。通过天眼查大数据分析，中建材光电装备（太仓）有限公司参与招投标项目7次，专利信息100条，此外企业还拥有行政许可8个。

中建材耀华（内江）节能玻璃有限公司，成立于2012年，位于内江市，是一家以从事非金属矿物制品业为主的企业。企业注册资本25417.475728万人民币。通过天眼查大数据分析，中建材耀华（内江）节能玻璃有限公司参与招投标项目214次，专利信息70条，此外企业还拥有行政许可76个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

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