睿晶半导体申请掩模版清洗方法及系统专利，显著提高了清洗效率和精度
创始人
2026-09-04 23:25:48
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国家知识产权局信息显示，睿晶半导体（宁波）有限公司申请一项名为“掩模版清洗方法及系统、计算机可读存储介质”的专利，公开号CN122690880A，申请日期为2026年8月。
专利摘要显示，本发明提供一种掩模版清洗方法及系统、计算机可读存储介质，涉及集成电路制造领域，本发明通过在清洗机台原有的缓冲工位完成检验报告的获取、坐标转换、局部清洗程序片段的生成以及与标准清洗程序的动态融合，充分利用了掩模版在缓冲工位的固有停留时间，实现了从检验报告接收到复合清洗程序执行的全自动化闭环流程。该方法无需人工介入，避免了传统人工编程耗时长、易出错的问题，同时通过将局部清洗程序片段插入标准清洗程序，在不改变原有清洗流程整体框架的前提下，实现了标准全面清洗与特殊缺陷定点清洗的一体化运行，显著提高了清洗效率和精度，降低了人工干预和出错风险。
天眼查资料显示，睿晶半导体（宁波）有限公司，成立于2022年，位于宁波市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本85000万人民币。通过天眼查大数据分析，睿晶半导体（宁波）有限公司参与招投标项目7次，财产线索方面有商标信息1条，专利信息31条，此外企业还拥有行政许可13个。
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来源：市场资讯
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