国家知识产权局信息显示,华虹半导体(无锡)有限公司;华虹半导体制造(无锡)有限公司;上海华虹宏力半导体制造有限公司申请一项名为“Nord闪存器件的制造方法”的专利,公开号CN122679636A,申请日期为2026年6月。
专利摘要显示,本发明公开了一种Nord闪存器件的制造方法,其半导体结构包括衬底、栅氧化层、浮栅层、栅间介质层、控制栅层,侧墙结构、浮栅氮化硅层及字线沟槽;于字线沟槽内形成字线多晶硅层,且字线多晶硅层延伸至浮栅氮化硅层的表面;对字线多晶硅层进行回刻以使得字线沟槽内的字线多晶硅层的上表面低于浮栅氮化硅层的上表面;去除浮栅氮化硅层表面残留的字线多晶硅层;于字线多晶硅层表面形成字线氧化层,且字线氧化层延伸至浮栅氮化硅层的表面;对所述字线氧化层进行回刻以使得所述字线沟槽内的字线氧化层的上表面低于所述浮栅氮化硅层的上表面;去除浮栅氮化硅层表面剩余的字线氧化层。本发明的Nord闪存器件的制造方法,不会导致字线沟槽内的字线多晶硅损伤。
天眼查资料显示,华虹半导体(无锡)有限公司,成立于2017年,位于无锡市,是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本253685.180069万美元。通过天眼查大数据分析,华虹半导体(无锡)有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目2951次,专利信息2128条,此外企业还拥有行政许可119个。
华虹半导体制造(无锡)有限公司,成立于2022年,位于无锡市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本402000万美元。通过天眼查大数据分析,华虹半导体制造(无锡)有限公司参与招投标项目378次,专利信息264条,此外企业还拥有行政许可233个。
上海华虹宏力半导体制造有限公司,成立于2013年,位于上海市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本2046092.7759万人民币。通过天眼查大数据分析,上海华虹宏力半导体制造有限公司共对外投资了8家企业,参与招投标项目940次,财产线索方面有商标信息37条,专利信息7926条,此外企业还拥有行政许可464个。
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来源:市场资讯