先导微电子取得溅射镀膜设备专利，提高设备稼动率
创始人
2026-08-25 13:22:07
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国家知识产权局信息显示，江苏先导微电子科技有限公司取得一项名为“溅射镀膜设备”的专利，授权公告号CN224678127U，申请日期为2025年7月。
专利摘要显示，本实用新型公开了一种溅射镀膜设备，溅射镀膜设备包括溅射室、第一载台、第二载台、间距调节装置和动态密封结构。溅射室包括腔体壁和腔体壁围设成的溅射腔体，腔体壁上设有连通腔体壁的贯通孔；相对设置的第一载台和第二载台设于溅射腔体中；间距调节装置通过贯通孔伸入溅射腔体中并固定连接第一载台以驱使第一载台靠近或者远离第二载台；动态密封结构设于间距调节装置和贯通孔之间。本申请的溅射镀膜设备，可以在无需停机和拆卸状态下，通过间距调节装置可以对溅射腔体中第一载台和第二载台之间的间距进行调节，提高设备稼动率。
天眼查资料显示，江苏先导微电子科技有限公司，成立于2021年，位于徐州市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本58824万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏先导微电子科技有限公司参与招投标项目23次，财产线索方面有商标信息11条，专利信息174条，此外企业还拥有行政许可14个。
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来源：市场资讯
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