半导体核心材料，重要突破
沙钢集团8月21日对外发布消息，集团旗下抚顺特钢公司与中国科学院金属研究所成功突破国外技术壁垒，研制出半导体领域用“超高纯不锈钢316LVV”，现已实现定制化生产，目前先后为国内10多家半导体设备企业供货。
公开资料显示， 在半导体制造产业链中，超高纯材料是支撑芯片制造的“基石”。近十年来，半导体领域用超高纯不锈钢材料长期依赖进口，国产替代进程缓慢。为了改变这一现状，沙钢集团旗下抚顺公司2021年就与中科院金属研究所组成联合科技攻关团队，历时5年、联合攻关、经历上千次试验，终于突破“卡点”难题， 成功研制出达到国外同类产品性能的316LVV超高纯不锈钢，双真空工艺达到6吨级，具备批量生产能力。
半导体领域用的超高纯不锈钢示意图
公司介绍，“超高纯不锈钢316LVV”是在经典“316L奥氏体不锈钢”基础上，采用双真空熔炼工艺制备的超高纯材料。与普通316L多采用“电弧炉+AOD”精炼的生产路线不同，316LVV通过“真空感应熔炼（VIM）+真空自耗重熔（VAR）”双联真空工艺，赋予材料极致纯净度、卓越耐腐蚀性、优异力学性能。
抚顺特钢销售公司开发科相关负责人介绍：“较国外进口同类产品，我们的316LVV产品纯净度及耐腐蚀性都提升了10%以上，交货时间比进口料缩短3个月以上，下游客户使用后很满意，目前公司订单量不断增长。”
据介绍，新材料试制成功后，科研团队不断将产品送往半导体设备生产企业进行试用验证，并根据试用结果不断改进生产工艺。经过一年多的持续改进，目前抚顺特钢已能够根据客户需求，定制生产适用不同工况的棒材、方材、扁材、异型材等类型的316LVV超高纯不锈钢，且产品工艺一致性、质量稳定性达到国际先进水平，产能规模国内领先。
抚顺特钢生产车间 公司提供
沙钢集团表示，抚顺特钢“316LVV超高纯不锈钢”的成功量产，是沙钢集团践行“钢铁报国”的生动注脚，未来有望助力我国在半导体关键材料领域迈出更坚实步伐。
作为沙钢集团旗下上市公司、抚顺特钢的兄弟公司，主营优特钢的沙钢股份8月21日收盘时，股价为3.70元/股，当日股价上涨1.37%，市值达81.17亿元。
作者：仲茜