睿创光电取得辅助光栅曝光装置专利，满足不同尺寸样片的曝光需求_半导体

睿创光电取得辅助光栅曝光装置专利，满足不同尺寸样片的曝光需求

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2026-04-07 14:34:23

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国家知识产权局信息显示，福建睿创光电科技有限公司取得一项名为“一种辅助光栅曝光装置”的专利，授权公告号CN224096123U，申请日期为2025年6月。

专利摘要显示，本实用新型公开了一种辅助光栅曝光装置，属于光栅曝光技术领域，包括底板，所述底板的外侧壁铰接有盖板，所述盖板远离底板的一侧固定连接有限位框，所述盖板的外侧壁转动连接有调节螺栓，所述调节螺栓的外侧壁螺纹连接有孔径光阑，所述孔径光阑远离盖板的一侧转动连接有转环，所述转环的外侧壁设置有金属片，所述金属片设置有若干个，若干个所述金属片均与转环连接，若干个所述金属片呈圆周阵列。该辅助光栅曝光装置，通过将样片放置在底板和盖板之间，转动转环调节金属片的位置，使多个金属片形成的通光孔径进行调节，可以根据不同尺寸的样片，来调节金属片形成的通光孔径，以便于满足不同尺寸样片的曝光需求。

天眼查资料显示，福建睿创光电科技有限公司，成立于2018年，位于福州市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本3100万人民币。通过天眼查大数据分析，福建睿创光电科技有限公司参与招投标项目9次，专利信息44条，此外企业还拥有行政许可5个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

底板睿创尺寸辅助光栅盖板装置样片通光专利金属片孔径

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