上海悦匠实业申请磁控溅射电源自适应控制方法专利，实现对磁控溅射电源输出的自适应控制_半导体

上海悦匠实业申请磁控溅射电源自适应控制方法专利，实现对磁控溅射电源输出的自适应控制

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2026-04-01 05:54:51

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国家知识产权局信息显示，上海悦匠实业有限公司申请一项名为“一种磁控溅射电源自适应控制方法、系统、设备及介质”的专利，公开号CN121759914A，申请日期为2026年3月。

专利摘要显示，申请提供一种磁控溅射电源自适应控制方法、系统、设备及介质，方法包括：针对反应溅射工况下的磁控溅射过程，采集用于表征反应溅射运行状态的多源运行信号；基于多源运行信号，对反应溅射运行状态进行分析，并将其划分为包括稳定运行状态、过渡运行状态及异常趋向运行状态的运行状态类别；基于运行状态类别选取对应的中频脉冲参与调制策略；基于预设的调制参数子档位集合，将每一中频脉冲参与调制策略所限定的中频脉冲参与比例区间及中频脉冲参与持续时间区间映射为多个中频脉冲调制参数子档位，并基于反应溅射运行状态偏离量，确定目标中频脉冲调制参数子档位，依据目标中频脉冲调制参数子档位对磁控溅射电源的输出进行控制。

天眼查资料显示，上海悦匠实业有限公司，成立于2016年，位于上海市，是一家以从事专业技术服务业为主的企业。企业注册资本3500万人民币。通过天眼查大数据分析，上海悦匠实业有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目31次，财产线索方面有商标信息25条，专利信息58条，此外企业还拥有行政许可5个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

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