紫芯微电子申请一种硅谐振温压传感器及其制备方法专利，对待测压力、待测温度分别进行测量_半导体

紫芯微电子申请一种硅谐振温压传感器及其制备方法专利，对待测压力、待测温度分别进行测量

创始人

2025-11-26 00:35:11

0次

国家知识产权局信息显示，苏州紫芯微电子有限公司申请一项名为“一种硅谐振温压传感器及其制备方法”的专利，公开号CN 121007659 A，申请日期为2025年10月。

专利摘要显示，本公开提供一种硅谐振温压传感器及其制备方法，硅谐振温压传感器包括依次连接的感压层、谐振层和底硅层；谐振层包括盖板和谐振组件，谐振组件包括谐振主梁、第一谐振副梁、固定梳齿、第二谐振副梁和温度谐振梁盖板与硅岛对应设置，谐振主梁连接盖板与第一谐振副梁连接，第一谐振副梁与固定梳齿组成第一静电梳齿对，固定梳齿与第二谐振副梁组成第二静电梳齿对，第二谐振副梁与温度谐振梁连接；向第一静电梳齿对、第二静电梳齿对分别加载周期性的驱动信号，第一谐振副梁带动谐振主梁发生周期性振动、第二谐振副梁带动温度谐振梁发生周期性振动，通过检测第一谐振副梁、第二谐振副梁的谐振频率变化以对待测压力、待测温度分别进行测量。

天眼查资料显示，苏州紫芯微电子有限公司，成立于2024年，位于苏州市，是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本2000万人民币。通过天眼查大数据分析，苏州紫芯微电子有限公司参与招投标项目1次，财产线索方面有商标信息3条，专利信息8条。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

方法温度测量压力紫芯传感器微电子谐振专利苏州硅谐振梳齿谐振梁谐振副梁

上一篇：国投智能：在区块链电子数据存证与取证领域已具备成熟产品

下一篇：股票行情快报：信濠光电（301051）11月25日主力资金净买入96.95万元

紫芯微电子申请一种硅谐振温压传感器及其制备方法专利，对待测压力、待测温度分别进行测量

相关内容

热门资讯