中微公司获得发明专利授权：“等离子体反应装置、半导体零部件及其处理方法”
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2026-03-18 09:51:04
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证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“等离子体反应装置、半导体零部件及其处理方法”，专利申请号为CN202311023397.1，授权日为2026年3月17日。
专利摘要：一种等离子体反应装置、半导体零部件及其处理方法，其中处理方法包括：提供一零部件，所述零部件表面包括多晶结构；对所述多晶结构进行离子注入工艺；进行离子注入工艺之后，进行微波晶化处理，使所述多晶结构转化为类单晶结构，所述类单晶结构的零部件经过X射线衍射所得到的衍射峰图谱由一个主峰和若干次峰，其中，每个次峰的强度至少低于所述主峰的强度1/25。所述方法能够提高零部件的耐腐蚀能力，降低颗粒污染物。
今年以来中微公司新获得专利授权31个，较去年同期减少了16.22%。结合公司2025年中报财务数据，2025上半年公司在研发方面投入了11.16亿元，同比增96.65%。
通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了29家企业，参与招投标项目76次；财产线索方面有商标信息109条，专利信息1664条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可77个。
数据来源：天眼查APP
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