嘉兴科迈超导申请干式超低振动光学测量装置专利，满足高精度光学测量的需求_半导体

嘉兴科迈超导申请干式超低振动光学测量装置专利，满足高精度光学测量的需求

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2026-06-19 11:17:00

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国家知识产权局信息显示，嘉兴科迈超导科技有限公司申请一项名为“一种干式超低振动光学测量装置”的专利，公开号CN122238330A，申请日期为2026年5月。

专利摘要显示，本发明提供一种干式超低振动光学测量装置，包括主腔部分和制冷部分，制冷部分包含真空腔及制冷机主体，制冷机主体由低温制冷机、下减振波纹管和上减振波纹管构成；低温制冷机的一级冷头连接一级冷头冷屏，二级冷头通过第二横向导冷热桥及二级冷头导热铜辫子冷却主腔样品冷板，一级冷头冷屏通过第一横向导冷热桥及一级冷头导热铜辫子冷却样品区冷屏；通过下减振波纹管、上减振波纹管、弹簧与氟橡胶阻尼组合结构实现竖直方向减振，通过第一横向波纹管和第二横向波纹管实现水平方向减振；通过柔性连接管连通下减振波纹管与上减振波纹管，以平衡两个波纹管的内部压力；本发明的光学装置兼具高效制冷与超低振动特性，满足高精度光学测量的需求。

天眼查资料显示，嘉兴科迈超导科技有限公司，成立于2022年，位于嘉兴市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本400万人民币。通过天眼查大数据分析，嘉兴科迈超导科技有限公司参与招投标项目49次，财产线索方面有商标信息5条，专利信息18条，此外企业还拥有行政许可5个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

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