新凯来申请版叉结构、掩模版传输装置及半导体设备专利，实现两类掩模版的高效兼容
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2025-11-24 10:09:48
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国家知识产权局信息显示，深圳市新凯来工业机器有限公司申请一项名为“版叉结构、掩模版传输装置及半导体设备”的专利，公开号CN 120993690 A，申请日期为2025年10月。
专利摘要显示，本申请实施例提供一种版叉结构、掩模版传输装置及半导体设备。该版叉结构包括：版叉主体，版叉主体形成容纳掩模版的空间；两个夹爪组，两个夹爪组均与版叉主体转动连接；位置调节机构，位置调节机构设置于版叉主体，用于驱动两个夹爪组相对于版叉主体旋转预设角度，使两个夹爪组中的其中一组处于夹持工作位，以夹持搭接位置与夹持工作位对应的所述掩模版。通过旋转两套夹爪组，实现两类掩模版的高效兼容，无需开腔，提升了整机的产能和可靠性。
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来源：市场资讯
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