国家知识产权局信息显示,泰勒斯公司申请一项名为“具有微机械加工的机电微系统的惯性角度传感器”的专利,公开号CN121311736A,申请日期为2024年6月。
专利摘要显示,本发明涉及一种角度传感器(1),其包括支撑板、在固定锚定点(17)处从支撑板悬挂并且适于在平面(P)中振动的内质量块(10)、包围内质量块(10)的外质量块(11)、以及外部框架(5),外质量块(11)耦合到内质量块(10)并且适于在平面(P)中振动,外部框架(5)相对于轴线(Z)布置在支撑板上方并且包围内质量块(10)和外质量块(11)。角度传感器(1)还包括内框架(6),内框架(6)布置在外质量块(11)和外框架(5)之间,通过电绝缘元件固定到支撑板,外质量块(11)悬挂在内框架(6)的固定锚定点(15)处,并且通过第一悬挂元件(13)电连接到内框架(6)。
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