广东芯源智能装备取得超导腔高压冲洗装置专利，有效彻底去除超导腔内壁的残留物_半导体

广东芯源智能装备取得超导腔高压冲洗装置专利，有效彻底去除超导腔内壁的残留物

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2026-05-28 17:59:05

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国家知识产权局信息显示，广东芯源智能装备有限公司取得一项名为“超导腔高压冲洗装置”的专利，授权公告号CN224272568U，申请日期为2025年5月。

专利摘要显示，本实用新型涉及一种超导腔高压冲洗装置，包括：承载组件，包括机台、第一立柱、及第二立柱；安装于承载组件一侧的到位检测组件；到位检测组件包括第一升降直线模组、支撑板、浮动环、第一感应器、探入环、及第二感应器；及安装于承载组件另一侧的冲洗组件；冲洗组件包括第二升降直线模组、中空旋转电机、喷杆、及进水管；喷杆的顶端用于同轴穿设探入环。上述超导腔高压冲洗装置，结构简单，使用方便，利用浮动环与探入环协同作用检测超导腔是否安装到位，喷杆伸入超导腔的内部并进行360度旋转冲洗，可以适应超导腔的高曲率曲面与深窄腔道，大大提高清洗覆盖率，有效彻底去除超导腔内壁的残留物。

天眼查资料显示，广东芯源智能装备有限公司，成立于2022年，位于东莞市，是一家以从事通用设备制造业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析，广东芯源智能装备有限公司参与招投标项目3次，财产线索方面有商标信息2条，专利信息9条，此外企业还拥有行政许可2个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

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