国家知识产权局信息显示,闽都创新实验室;世创微(福建)电子有限公司申请一项名为“一种高电子迁移率晶体管及其制备方法”的专利,公开号CN121240489A,申请日期为2025年11月。
专利摘要显示,本发明公开了一种高电子迁移率晶体管及其制备方法。高电子迁移率晶体管包括:衬底;沟道层,位于衬底的一侧;势垒层,位于沟道层远离衬底的一侧;帽层,位于势垒层远离衬底的一侧;多个凹槽,凹槽贯穿帽层和势垒层,且贯穿部分沟道层;电极层,至少部分位于帽层远离衬底的一侧;电极层包括源电极、漏电极和栅电极;至少部分源电极位于凹槽中,且与沟道层接触;至少部分漏电极位于凹槽中,且与沟道层接触;栅电极位于帽层远离衬底的一侧。本发明通过设置部分源漏电极通过凹槽与沟道层直接接触,可实现部分源漏电极与沟道层中的二维电子气直接接触,进而可提高源漏电极周围的二维电子气密度,降低欧姆接触电阻。
声明:市场有风险,投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成,仅供参考,不构成个人投资建议。
来源:市场资讯