研微取得气体传输组件和半导体处理装置专利，可提高半导体工艺的反应气体与吹扫气体管理效率_半导体

研微取得气体传输组件和半导体处理装置专利，可提高半导体工艺的反应气体与吹扫气体管理效率

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2025-12-30 21:09:01

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国家知识产权局信息显示，研微（江苏）半导体科技有限公司取得一项名为“气体传输组件和半导体处理装置”的专利，授权公告号CN223738132U，申请日期为2024年12月。

专利摘要显示，提供了一种气体传输组件和半导体处理装置。该组件包括加热基座、第一进气模块、第二进气模块、第一阀块组、第二阀块组和出气模块，第一进气模块嵌设在加热基座中，第一进气模块的内部具有多个第一进气通道；第二进气模块设置在第一进气模块的上方，第二进气模块的内部具有多个第二进气通道；出气模块嵌设在加热基座中，出气模块的内部具有出气通道；第一阀块组和第二阀块组设置在加热基座的上方，第一阀块组包括多个第一阀块，多个第一阀块分别用于控制多个第一进气通道的通断；第二阀块组中包括多个第二阀块，多个第二阀块分别用于控制多个第二进气通道的通断；其中，多个第一进气通道用于通入反应气体，多个第二进气通道用于通入吹扫气体。

天眼查资料显示，研微（江苏）半导体科技有限公司，成立于2022年，位于无锡市，是一家以从事通用设备制造业为主的企业。企业注册资本2868.9738万人民币。通过天眼查大数据分析，研微（江苏）半导体科技有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目10次，财产线索方面有商标信息9条，专利信息62条，此外企业还拥有行政许可10个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

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